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    • 专利摘要:
    Eine Prüfkarte gemäß der vorliegenden Erfindung erlaubt einfache Trennung und Zusammenbau von Elementen, die die Prüfkarte konfigurieren, und ferner die Verhinderung des Auftretens von elektrischem Leitungsversagen zwischen den Elektroden und erreicht hohen elektrischen Kontakt und hohe Zuverlässigkeit. Die Prüfkarte gemäß der vorliegenden Erfindung zur Messung elektrischer Eigenschaften eines Messobjektes umfasst ein Reduzierelement mit einer Mehrzahl von Kontakten, welche ein Elektrodenkissen eines Messobjektes kontaktieren, auf einer Oberfläche und eine Mehrzahl von Verbindungspins auf einer der Oberfläche mit dem Kontakt gegenüberliegenden Oberfläche, ein Hauptträgerelement mit einer Mehrzahl von ersten Verbindungselektroden, welche ein Elektrodenkissen eines Messobjektes kontaktieren, und ein Unterträgerelement mit einer Mehrzahl von Durchgangslöchern, durch welche der Verbindungspin zwischen dem Hauptträgerelement und dem Reduzierelement eingeführt ist, zur elektrisch leitenden Verbindung mit der ersten Verbindungselektrode, wobei das Unterträgerelement und das Hauptträgerelement integral miteinander verbunden sind.
    公开号:DE102004028185A1
    申请号:DE102004028185
    申请日:2004-06-07
    公开日:2005-03-24
    发明作者:Chikaomi Amagasaki Mori；Masanari Amagasaki Nakashima；Katsuhiko Amagasaki Satou
    申请人:Japan Electronic Materials Corp；
    IPC主号:G01R31-26
    专利说明:
    [0001] Dievorliegende Erfindung betrifft eine Prüfkarte zur Messung der elektrischenEigenschaften eines Halbleiterbauteiles, wie eines LSI-Chips oder ähnlichem.
    [0002] Eine übliche Prüfkarte isteingeteilt in eine horizontale Art, bezeichnet als freitragendeArt, und eine vertikale Art, bezeichnet als senkrechte Art. Eine Prüfkarte horizontalerArt ist nicht geeignet zur gleichzeitigen Messung einer Mehrzahlvon Chips, wie involviert in einer hochmaßstäbigen Hochintegration des jüngsten LSI-Chipsund Multiplexen eines Testers. Eine Prüfkarte des vertikalen Typsist auf der anderen Seite brauchbar für die gleichzeitige Messungeiner Vielzahl von Chips, da eine größere Anzahl von Prüfkartenbenutzt werden kann und da der Freiheitsgrad in der Anordnung derPrüfkartehoch ist.
    [0003] [Beider Prüfungvon Halbleiterelementen müsseneine Vielzahl von Chips gleichzeitig gemessen werden und es werdenPrüfkartenbenötigt,welche eine hohe elektische Kontaktstabilität, hohe Leistung und hohe Zuverlässigkeitaufweisen, selbst wenn die Anzahl der Elektroden der verwendeten Prüfkarte weitergesteigert ist.
    [0004] Daherist eine Probenkarte des vertikalen Typs vorgeschlagen worden, diewie in 17 gezeigt konfiguriertist. Eine solche Prüfkartedes vertikalen Typs umfasst ein Hauptträgerelement 1' umfassend eineerste Hauptfläche 1a' mit einer Mehrzahlvon ersten Verbindungselektroden 4', welche auf einer Oberfläche angeordnetsind und mit einem elektrischen Kissen einer Messeinrichtung verbundensind, und eine zweite Hauptfläche 1b' mit einer zweitenVerbindungselektrode 5',welche mit der ersten Verbindungselektrode über einen Draht elektrisch verbundenist; ein Reduzierelement 2' umfassend einezweite Hauptfläche 2b' mit einer Mehrzahlvon fünftenVerbindungselektroden 17',welche mit einem elektrischen Kissen eines Messobjekts verbunden sindund eine erste Hauptfläche 2a' mit einer vierten Verbindungselektrode 16', welche über einenDraht mit der fünftenVerbindungselektrode 17' elektrisch verbundenist; und einem Stützelement 25,welches zwischen dem Hauptträgerelement 1' und dem Reduzierelement 2' eingerichtetist. Weiterhin ist ein Verbindungspin 7', welcher über dem Stützelement liegt und in Bogenformgebogen ist, eingerichtet, wobei eine Spitze des Verbindungspins 7' die zweite Verbindungselektrode 5' des Hauptträgerelements 1' kontaktiertund wobei die andere Spitze die vierte Verbindungselektrode 16' des Reduzierelements 2' kontaktiert.
    [0005] Beidieser Art einer Prüfkarte,welche konfiguriert ist mit dem Hauptträgerelement 1', dem Reduzierelement 2' und dem Verbindungspin 7', kontaktierenddie gegenüberliegendenElektroden des Hauptträgerelementsund des Reduzierelements sowie das Stützelement, welches den Verbindungsgin 7' trägt, bestehenjedoch zumindest zwei Punkte fürelektrische Fehlkontakte, der Punkt der zweiten Hauptfläche desHauptträgerelements 1' und die Spitzedes Verbindungspins 7' undder Punkt der ersten Hauptflächedes Reduzierelements 2' unddie andere Spitze des Verbindungspins 7', und folglich neigt die Leitunginsgesamt zu versagen. Des Weiteren wird die Position der Spitzedes Verbindungspins 7' ungenau undeine größere Anzahlvon Leitungsfehlern treten ein, da der in einem gebogenen Zustandgeformte Verbindungsgin 7' dazuneigt, lang zu sein und unterstütztist durch das Stützelementin einem Zustand mit ungleicher Richtung, Neigung und dergleichen.
    [0006] Dievorliegende Erfindung zielt daher darauf, eine Prüfkarte zurVermeidung des Auftretens von Leitungsfehlern zwischen Elektrodenvorzuschlagen, welche eine hohe elektrische Kontaktstabilität und hoheZuverlässigkeithat, um die vorstehend genannten Probleme einer konventionellenPrüfkartezu lösen.
    [0007] Umdas vorstehende Ziel zu erreichen umfasst eine Prüfkarte gemäß der Erfindungzur Messung elektrischer Eigenschaften eines Messobjektes ein Hauptträgerelementumfassend eine erste Verbindungselektrode, welche eine Messeinrichtung kontaktiert;ein Unterträgerelement,welches mit dem Hauptträgerelementverbunden ist, umfassend eine Mehrzahl von mit der ersten Verbindungselektrode elektrischleitend verbundenen Durchgangslöchern, undein Reduzierelement umfassend, auf einer Hauptfläche, einen Verbindungspin,welcher entfernbar in das Durchgangsloch eingesteckt ist, und, auf deranderen Hauptfläche,eine Mehrzahl von elektrisch leitend mit dem Verbindungspin verbundenen Kontakten,welche das Messobjekt kontaktieren.
    [0008] DasUnterträgerelementund das Reduzierelement trennbar miteinander verbunden sind. Weiterhinumfasst das Hauptträgerelementeine erste Hauptflächemit der ersten Verbindungselektrode und eine zweite Hauptfläche miteiner zweiten Verbindungselektrode, welche mit der ersten Verbindungselektrodeleitend übereinen Draht verbunden ist, und einen elektrischer Leiter zum Zweckeder elektrischen Verbindung zwischen der zweiten Hauptfläche undeiner ersten Hauptfläche,welcher in Richtung der zweiten Hauptfläche des Unterträgerelementseinschließlichdes Durchgangslochs weist.
    [0009] DasHauptträgerelementumfasst auf der ersten Hauptflächemit der ersten Verbindungselektrode eine Verstärkungsplatte zur Vermeidungder Verformung des Hauptträgerelements.Ein Verbindungspin und das Durchgangsloch des Unterträgerelements,durch welches der Verbindungspin eingeführt ist, kontaktieren in demDurchgangsloch elastisch in dem Durchgangsloch. Die Prüfkarte dervorliegenden Erfindung ist weiterhin konfiguriert mit einem Hauptträgerelementumfassend eine erste Verbindungselektrode, welche eine Messeinrichtung kontaktiert,mit einem Unterträgerelement,welches mit dem Hauptträgerelementverbunden ist, umfassend eine Mehrzahl von mit der ersten Verbindungselektrodeelektrisch leitend verbundenen Durchgangslöchern, und mit einem Reduzierelementumfassend eine Mehrzahl von das Messobjekt elektrisch leitend kontaktierenedenKontakten auf einer Hauptflächeund umfassend eine Mehrzahl von Durchgangslöchern zur elektrischen Leitungmit dem Kontakt, und ein Verbindungspin mit einem Ende entfernbarin dem Durchgangsloch des Reduzierelementes angeordnet und dem anderenEnde entfernbar in dem Durchgangsloch des Unterträgerelementesangeordnet. Das Reduzierelement kann in eine Mehrzahl von unterteiltenTeilen aufgeteilt sein.
    [0010] Diebevorzugten Ausführungsformender Erfindung werden nun unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungenerläutert.
    [0011] 1 ist eine schematischeAnsicht in querschnittsmäßiger Anordnunggemäß einerbevorzugten Ausführungsformder vorliegenden Form der Erfindung;
    [0012] 2 ist eine schematischeExplosionsdarstellung der querschnittsmäßigen Konfiguration gemäß der Ausführungsformder vorliegenden Erfindung;
    [0013] 3 ist eine schematischeTeilansicht der querschnittsmäßigen Konfigurationgemäß der Ausführungsformder vorliegenden Erfindung;
    [0014] 4 ist eine schematischeTeilansicht, welche einen verbundenen Zustand eines Hauptträgerelementsund eines Unterträgerelementsgemäß der Ausführungsformder vorliegenden Erfindung zeigt;
    [0015] 5 ist eine schematischeTeilansicht, welche einen anderen verbundenen Zustand des Hauptträgerelementsund des Unterträgerelementsgemäß der Ausführungsformder vorliegenden Erfindung zeigt;
    [0016] 6 ist eine vergrößerte Ansicht,welche einen Verbindungspin gemäß der Ausführungsform dervorliegenden Erfindung zeigt;
    [0017] 7 ist eine schematischeTeilansicht, welche einen Verbindungszustand eines anderen Verbindungspinsgemäß der Ausführungsformder vorliegenden Erfindung zeigt;
    [0018] 8 ist eine schematischeTeilansicht, welche einen Verbindungszustand des Verbindungspins gemäß der Ausführungsformder vorliegenden Erfindung zeigt;
    [0019] 9 ist eine schematischeAnsicht, welche eine andere Ausführungsformeines Unterträgerelementsder vorliegenden Erfindung zeigt;
    [0020] 10 ist eine schematischeTeilansicht, welche einen Verbindungszustand eines anderen Verbindungspinsgemäß der Ausführungsformder vorliegenden Erfindung zeigt;
    [0021] 11 ist eine schematischeTeilansicht, welche einen Verbindungszustand eines anderen Verbindungspinsgemäß der Ausführungsformder vorliegenden Erfindung zeigt;
    [0022] 12 ist eine schematischeTeilansicht, welche einen Verbindungszustand eines anderen Verbindungspinsgemäß der Ausführungsformder vorliegenden Erfindung zeigt;
    [0023] 13 ist eine teilweise vergrößerte Ansicht,welche einen Verbindungszustand des Verbindungspins gemäß der Ausführungsformder vorliegenden Erfindung zeigt;
    [0024] 14 ist eine schematischeTeilansicht, welche einen Verbindungszustand des Verbindungspinsgemäß der Ausführungsformder vorliegenden Erfindung zeigt;
    [0025] 15 ist eine schematischeAnsicht einer querschnittsmäßigen Konfigurationgemäß eineranderen Ausführungsformder vorliegenden Erfindung;
    [0026] 16 ist eine schematischeTeilansicht, welche eine andere Verstärkungsplatte gemäß der Ausführungsformder vorliegenden Erfindung zeigt; und
    [0027] 17 ist eine schematischeAnsicht, welche einen Teil einer querschnittsmäßigen Konfiguration einer Prüfkarte gemäß dem Standder Technik zeigt.
    [0028] Wiein den 1 bis 3 gezeigt, hat eine Prüfkarte Aein Hauptträgerelement 1 miteiner ersten Verbindungselektrode 4, welche eine zu untersuchendeMesseinrichtung, wie einen Tester (nicht gezeigt) kontaktiert, einUnterträgerelement 3 miteiner Mehrzahl von Durchgangslöchern 9,welche elektrisch leitend mit der ersten Verbindungselektrode verbundensind, einen Verbindungspin 7, welcher entfernbar durchdas Durchgangsloch 9 eingeführt ist, ein Reduzierelement 2 mitdem Verbindungspin 7 auf einer Hauptfläche 2a und einer Mehrzahlvon Kontakten 6, welche ein Halbleiterelement (nicht gezeigt),das als ein Messobjekt, wie einen IC Chip, auf der anderen Seiteder Hauptfläche 2b dient,kontaktiert, und einen Halter 10, um das Reduzierelement 2 mitdem Hauptträgerelement 1 entfernbarzu verbinden.
    [0029] Wiein den 1 bis 3 gezeigt, umfasst das Hauptträgerelement 1 eineMehrzahl von ersten Verbindungselektroden 4, 4 aufeiner ersten Hauptfläche 1a zumZwecke der elektrischen Verbindung mit der Messeinrichtung zur Prüfung, undeine Mehrzahl von zweiten Verbindungselektroden 5, 5 aufeiner zweiten Hauptfläche 1b zurelektrischen Verbindung mit dem Unterträgerelement 3, wiefolgend beschrieben wird. Die zweite Verbindungselektrode 5 ist elektrisch leitendverbunden mit der ersten Verbindungselektrode 4 über einenDraht in dem Hauptträgerelement.
    [0030] Indem Hauptträgerelement ändern sichdie Abständezwischen den Elektroden von den engen Abständen benachbarter zweiter Verbindungselektrodender zweiten Hauptfläche 1b zuden weiten Abständender benachbarten ersten Verbindungselektroden auf der ersten Hauptfläche 1a.Die ersten Verbindungselektroden der ersten Hauptfläche 1a sind miteinem weiten Abstand angeordnet, welcher mit dem Abstand zwischenden Elektroden der Messeinrichtung korrespondiert.
    [0031] DasHauptträgerelementumfasst eine Verstärkungsplatte 8 aufder ersten Hauptfläche 1a.Die Verstärkungsplatte 8 istvorgesehen zur Vermeidung des Problems der Wärmeaufnahme des Hauptträgerelements 1,welche durch die Instabilitätdes elektrischen Kontaktes, die durch Unterschiede im Kontaktdruckder Messeinrichtung, welche die erste Hauptfläche 1a des Hauptträgerelements 1 kontaktiert,verursacht ist, wodurch das Hauptträgerelement 1 in einegebogene Form verformt wird als Ergebnis der thermischen Ausdehnungsunterschiededes Hauptträgerelements 1 undfolglich Versagen elektrischer Leitung verursachend.
    [0032] DieVerstärkungsplatte 8 solldie Verzerrung des Hauptträgerelements 1 soweit wie möglichunterdrücken.Wie in 16 gezeigt, sindauf der ersten Hauptfläche 1a desHauptträgerelements 1 eine Mehrzahlvon unabhängigenElementen 8a und 8b eingerichtet, welche bewirken,dass der zentrale Teil des Hauptträgerelements flach gehaltenwird, selbst wenn die Kanten des Hauptträgerelements verbiegen. Weiterhinkönneneine Mehrzahl von unabhängigenElementen aus unterschiedlichen Materialien eingerichtet sein zumZwecke der Vermeidung der Verbiegung des Hauptträgerelements in einer noch effizienterenWeise.
    [0033] Wiein den 1 bis 3 gezeigt, umfasst das Unterträgerelement 3 eineerste Hauptfläche 3a,welche in Richtung der zweiten Hauptfläche 1b des Hauptträgerelements 1 weist,und eine zweite Hauptfläche 3b,welche zu der ersten Hauptfläche 2a des Reduzierelements 2,wie folgt beschrieben, weist. Eine Mehrzahl von Durchgangslöchern 9,9 isteingerichtet zwischen der ersten Hauptfläche 3a und der zweitenHauptfläche 3b.Das Durchgangsloch 9, einschließlich einer elektrisch leitendbeschichteten Schicht, verläuftzwischen der ersten Hauptfläche 3a undder zweiten Hauptfläche 3b undist elektrisch leitend verbunden mit einer dritten Verbindungselektrode 15 aufder ersten Hauptfläche 3a.
    [0034] Diedritte Verbindungselektrode 15 des Unterträgerelements 3 unddie zweite Verbindungselektrode 5 des Hauptträgerelements 1 sindmit einem elektrischen Leiter, welcher beispielsweise aus Lötmittelund einem elektrisch leitenden Harz gemacht ist, fixiert. Zum Zweckeder Trägerelementadhäsion istein Harzbauteil 14 zwischen der zweiten Hauptfläche 1b desHauptträgerelements 1 undder ersten Hauptfläche 3a desUnterträgerelements 2,welche zur zweiten Hauptflächedes Hauptträgerelements weist,eingerichtet, außerin dem Bereich mit elektrischen Leitern. Das Unterträgerelement 3 istelektrisch leitend verbunden und integral gekoppelt mit dem Hauptträgerelement 1.
    [0035] Wiein den 1 bis 3 gezeigt, umfasst das Reduzierelement 2 dieerste Hauptfläche 2a,welche zur zweiten Hauptfläche 3b desUnterträgerelements 3 weist,und die zweite Hauptfläche 2b miteiner Mehrzahl von Kontakten 6, 6 zum Zwecke derKontaktierung eines Elektrodenkissens (nicht gezeigt) des Halbleiterelements,welches in hoher Dichte angeordnet ist.
    [0036] EineMehrzahl von vierten Verbindungselektroden 16, 16 sindauf der ersten Hauptfläche 2a des Reduzierelements 2 eingerichtetund der Verbindungspin 7, welcher folgend beschrieben wird,ist an die vierte Verbindungselektrode 16 angelötet. Eine Mehrzahlvon fünftenVerbindungselektroden 17, 17 sind auf der zweitenHauptfläche 2b desReduzierelements 2 eingerichtet und der Kontakt 6 istan das fünfteVerbindungselement 17 angelötet.
    [0037] Dievierte Verbindungselektrode 16 des Reduzierelements 2 istelektrisch leitend verbunden mit der fünften Verbindungselektrode 17 über denDraht in dem Reduzierelement 2.
    [0038] DerRaum zwischen der Mehrzahl von benachbarten Kontakten 6 desReduzierelements 2 korrespondiert zu dem engen Abstanddes Elektrodenkissens (nicht gezeigt) des Halbleiterelements.
    [0039] DasReduzierelement 2 kann von der teilbaren Art sein, wodurchein defektes Bauteil, beispielsweise mit einem Versagen elektrischerLeitung, sofort repariert und ausgetauscht werden kann mit der geteiltenBauart, wie folgend in 15 beschrieben.
    [0040] Derin dem Reduzierelement 2 eingeschlossene Verbindungspin 7 istentfernbar durch das Durchgangsloch 9 des Unterträgerelements 3 eingeführt. EinEnde des Verbindungspins 7 kontaktiert das Durchgangsloch 9, 24 elastisch,einschließlich derelektrisch leitend beschichteten Schicht und ist elektrisch leitendhiermit verbunden, wie in den 6 bis 8 und 10, 12 und 13 wie folgt beschrieben, gezeigt.Das andere Ende des Verbindungspins 7 ist nicht an dasReduzierelement 2 gelötetund kann elastisch kontaktieren mit dem Reduzierelement 2, wiein der folgend beschriebenen 11 gezeigt.
    [0041] Ineiner anderen Ausführungsformdes Unterträgerelements 3,wie in 9 gezeigt, besteht dasUnterträgerelement 3 auszwei Schichten, einem ersten Unterträgerelement 31 undeinem zweiten Unterträgerelement 32.Ein erstes Unterträgerelement-Durchgangsloch 319 undein zweites Unterträgerelement-Durchgangsloch 329 sindin den Unterträgerelementen 31 und 32 jeweilseingerichtet, und zwar in versetzten Positionen zueinander. Daserste Unterträgerelement-Durchgangsloch 319 unddas zweite Unterträgerelement-Durchgangsloch 329 sind elektrischleitend verbunden mit der sechsten Verbindungselektrode 33.
    [0042] Daserste Unterträgerelement-Durchgangsloch 319 istelekrisch leitend verbunden mit der dritten Verbindungselektrode 15 desUnterträgerelements 3 unddie dritte Verbindungselektrode 15 ist elektrisch leitendverbunden und hiermit fixiert mit der zweiten Verbindungselektrode 5 desHauptträgerelements 1 über denelektrischen Leiter, welcher beispielsweise aus Lötmittelund einem elektrisch leitenden Harz gemacht ist. Die zweite Verbindungselektrode 15 istelektrisch leitend überden Draht in dem Hauptträgerelement 1 mitder ersten Verbindungselektrode 4 verbunden.
    [0043] DiefünfteVerbindungselektrode 17 ist auf der zweiten Hauptfläche 2b desReduzierelements 2 eingerichtet und der Kontakt 6 istan die fünfteVerbindungselektrode 17 angelötet. Ein Endbereich 23 des Verbindungspins 7,wie folgend beschrieben, welcher elektrisch verbunden ist in demzweiten Unterträgerelement-Durchgangsloch 329,führt durchdas Durchgangsloch 24 in das Reduzierelement 2 undist an die fünfteVerbindungselektrode 17 angelötet. Das Unterträgerelement 3 bestehtaus zwei Schichten des ersten Unterträgerelements 31 undzweiten Unterträgerelements 32,kann aber auch aus einer Mehrzahl von drei oder mehr Schichten bestehen.
    [0044] Durchdie Konfiguration des Unterträgerelements 3 mitzwei oder mehr Schichten und durch Verschiebung der Positionen derDurchgangslöcherin jedem Unterträgerelementund im Falle dass die Abständezwischen der ersten Verbindungselektrode 4 des Hauptträgerelements 1 unddem Kontakt 6 des Reduzierelements 2 unterschiedlichist, kann die Beabstandung innerhalb des Unterträgerelements 3 in zweiSchritten einer ersten Stufenänderungund einer zweiten Stufenänderunggeändertsein. Die Konzentration von Drähtenim Hauptträgerelementkann dadurch in dem Unterträgerelementverteilt werden, verglichen zu wenn die Beabstandung direkt geändert istdurch ein Durchgangsloch von dem Hauptträgerelement. Dies reduziertdie Verdrahtungslast des Hauptträgerelements 1.
    [0045] Wiein der 1 gezeigt, umfasstder Halter 10 zur entfernbaren Verbindung des Reduzierelements 2 mitdem Hauptträgerelement 1 eineSchraube 11, welche spiralig verbunden ist mit dem Hauptträgerelement 1,und Federn 12, 12 zum Zwecke der Unterdrückung einerVerformung des Reduzierelements 2. Die Federn 12 dientder Lösungdes Problems der Wärmeabsorptiondes Reduzierelements 2, welche durch Instabilität eineselektrischen Kontaktes generiert wird, die verursacht wird durch Änderungdes Kontaktdrucks auf Kontakt 6, welcher das Elektrodenkissen(nicht gezeigt) des Messobjektes kontaktiert, welche folglich dasReduzierelement 2 in eine gebogene Form aufgrund thermischerAusdehnungsunterschiede des Reduzierelements 2 verformt undelektrisches Leitungsversagen verursacht.
    [0046] DurchDrehen des Schraubenkopfes der Schraube 11 von der Seitedes Reduzierelements 2 zum Zwecke der Entfernung von demHauptträgerelement 1 können dasintegral mit dem Unterträgerelement 3 verbundeneHauptträgerelement 1 unddas Reduzierelement 2 leicht getrennt werden und kann derdefekte Verbindungspin oder dergleichen des Reduzierelements ersetztwerden. Umgekehrt, durch Drehen der Schraube 11 in umgekehrterRichtung könnendas Reduzierelement 2 und das Hauptträgerelement 1 leichtzusammengefügtwerden.
    [0047] DieVerbindung des Hauptträgerelements 1 unddes Unterträgerelements 3 wirdnun mit Bezug auf die 4 und 5 näher erläutert.
    [0048] Wiein 4 gezeigt, sind dasHauptträgerelement 1 unddas Unterträgerelement 3 integralgekoppelt durch Fixierung der dritten Verbindungselektrode 15 derersten Hauptfläche 3a,welche elektrisch leitend verbunden ist mit dem Durchgangsloch 9,einschließlichder elektrisch leitend beschichteten Schicht, des Unterträgerelements 3,und der zweiten Verbindungselektrode 5 der zweiten Hauptfläche 1b desHauptträgerelements 1 mitdem elektrischen Leiter 13, welcher beispielsweise ausLötmittelund elektrisch leitendem Harz und dergleichen gemacht ist, und durchEinrichtung des Hauptbauteils 14 für Trägerelementadhäsion zwischendem Unterträgerelementund dem Hauptträgerelement 1,mit Ausnahme des Bereiches mit elektrischem Leiter.
    [0049] Dadurch,bei Verbindung des Hauptträgerelements 1 unddes Unterträgerelements 3,ist die elektrisch leitende Region, in welcher der Abstand zwischenElektroden sich vom engen Abstand benachbarter Elektroden der erstenHauptfläche 3a des Unterträgerelements 3 zudem weiten Abstand der benachbarten Elektroden der ersten Hauptfläche 3a desHauptträgerelements 1 ändert, definiertdurch das Hauptträgerelement 1 unddas Unterträgerelement 3,und folglich ist elekrisches Leitungsversagen verhindert und eineverbes- serte Kontaktstabilität undReduzierung der Anzahl elektrischer Fehlkontaktpunkte erreicht.
    [0050] Wiein 5 gezeigt, können dieerste Verbindungselektrode 15 der ersten Hauptfläche 3a, welcheelektrisch leitend verbunden ist mit dem Durchgangsloch 9,einschließlichder elekrisch leitend beschichteten Schicht des Unterträgerelements 3,und die zweite Verbindungselektrode 5 der zweiten Hauptfläche 1b desHauptträgerelements 1 ineiner Position abseits der Position des Durchgangslochs des Unterträgerelements 3 mitdem elektrischen Leiter 13 fixiert werden.
    [0051] DerVerbindungspin 7 ist in eine U-Form oder eine V-Form beispielsweisedurch Ätzenund Druckarbeit geformt. Wie in 6 gezeigt,umfasst der Verbindungspin 7 einen Kontaktierungsbereich 20 zur Ausführung eineselastischen Kontakts im Durchgangsloch 9 des Unterträgerelements 3,einen Trägerbereich 21 zurUnterstützungdes Kontaktbereichts, einen Anschlag 22, welcher am Endedes Trägerbereichsangeordnet ist zum Zwecke der Verhinderung, dass der Trägerbereichzu weit in das Durchgangsloch 9 eingeführt wird, und einen Endbereich 23,welcher an die vierte Verbindungselektrode 16 des Reduzierelementsgelötetist.
    [0052] Wiein 3 gezeigt, kontaktiertder Kontaktierungsbereich 20 die innere Wand des Durchgangslochs 9,einschließlichder elektrisch leitend beschichteten Schicht und der Verbindungspin 7 wird elekrischleitend, wenn der Kontaktierungsbereich 20 und der Trägerbereich 21 indas Durchgangsloch 9 des Unterträgerelements 3 eingeführt werden.Es wird klar, dass der Kontaktierungsbereich und der Trägerbereichdes Verbindungspins 7 aus dem Durchgangsloch 9 herausgezogenwerden, wenn das Reduzierelement heruntergezogen wird.
    [0053] 7 zeigt den Kontaktierungsbereich 20 desVerbindungspins 7 geteilt und in zwei Stufen konfiguriert,in welchem Falle der elastische Kontakt im Durchgangsloch 9 desUnterträgerelements 3 stärker wirdund die Haltbarkeit besser wird als bei dem oben erwähnten Kontaktierungsbereich.
    [0054] 8 zeigt den Endbereich 23 desVerbindungspins 7 in einer fixierten Konfiguration, inwelchem Falle der Endbereich des Verbindungspins 8 durchdas in dem Reduzierelement 2 eingerichtete Durchgangsloch 24 eingeführt undan die fünfteVerbindungselektrode 17 des Reduzierelements 2 angelötet ist,wodurch eine gute elektrische Leitung und eine stärkere Fixierungdes Verbindungspins 7 gegeben ist.
    [0055] 10 zeigt den Kontaktierungsbereich 20 desVerbindungspins 7 in zwei Stufen geteilt, und ähnlich wiein 8 ist der Endbereichhiervon durch das in dem Reduzierelement 2 eingerichteteDurchgangsloch 24 eingeführt und mit der fünften Verbindungselektrode 17 desReduzierelements 20 verlötet, wodurch eine gute elektrischeLeitung und stärkereFixierung des Verbindungspins 7 gewährleistet ist.
    [0056] 11 zeigt eine Konfiguration,in welcher, zusätzlichzum Kontaktierungsbereich 20 des Verbindungspins 7,der Endbereich 23 ebenfalls einen elastischen Kontakt ausführt. Ähnlich wiein 3 werden der Kontaktierungsbereich 20 undder Trägerbereich 21 desVerbindungspins 7 durch das Durchgangsloch 9 desUnterträgerelements 3 eingeführt, wodurchelastischer Kontakt des Kontaktierungsbereichs in dem Durchgangsloch 9 eingerichtetist. Weiterhin ist der Endbereich 23 durch das Durchgangsloch 24 desReduzierelements 2 eingeführt zum elektrischen Kontaktder inneren Wandung des Durchgangslochs 24. Folglich istes nicht notwendig, das Reduzierelement 2 und den Verbindungspin 7 zuverlötenund folglich könnendas Reduzierelement 2 und der Verbindungspin 7 leichtgetrennt werden.
    [0057] Indiesem Fall kann durch Erzeugung eines Unterschiedes zwischen demFederdruck des Kontaktierungsbereichs 20 des Verbindungspins 7 auf derSeite des Unterträgerelements 3 unddem Federdruck des Endbereichs des Verbindungspins 7 mit demDurchgangsloch 24 in dem Reduzierelement 2 einElement zum Verbleib mit dem Verbindungspin 7 ausgewählt werdenbeim Entfernen des Reduzierelements 2 von dem Unterträgerelement 3.Das heißt, durchErzeugung eines höherenFederdrucks auf der Seite des Unterträgerelements 3 alsden Federdruck auf der Seite des Reduzierelements 2 verbleibtder Verbindungspin 7 zuverlässig auf der Seite des Unterträgerelements 3 während derEntfernung des Reduzierelements 2, und der Verbindungspin 7 wirdweder aus dem Durchgangsloch 9 des Unterträgerelements 3 nochaus dem Durchgangsloch 24 des Reduzierelements 2 herausfallen.(Durch Setzen des höherenFederdrucks auf der Seite des Reduzierelements 2 verbleibtder Verbindungspin 7 auf der Seite des Reduzierelements 2.)
    [0058] 12 und 13 zeigen den Verbindungspin 7 alsgeraden Pin konfiguriert. Hier ist ein verjüngter innerer Kontakt 26 indem Durchgangsloch 9 des Unterträgerelements 3 eingerichtet.Bei der Durchführungdurch den inneren Kontakt 26 kontaktiert der Verbindungspin 7 elastischdie Endspitze des inneren Kontakts 26. Das Durchgangsloch 9,einschließlichder elektrisch leitfähigbeschichteten Schicht, und der innere Kontakt 26 sind elektrischleitfähig. DieVerbindung zwischen dem geraden Pin, welcher als Verbindungspindient, und dem inneren Kontakt 26 hat gute elektrischeLeitfähigkeitund das Ein- und Ausführendes geraden Pins, welcher als Verbindungspin dient, kann geschmeidigausgeführtwerden.
    [0059] Weiterhinzeigt 14 eine Verbindungzwischen dem Verbindungspin 7 oder geraden Pin, ähnlich wiein 12, und dem innerenKontakt 26. Die Fixierung des geraden Pins ist so, dassder gerade Pin durch das Durchgangsloch 24, welches indem Reduzierelement 2 eingerichtet ist, eingeführt undan die fünfteVerbindungselektrode 17 des Reduzierelements 2 angelötet ist,wodurch eine gute elektrische Leitfähigkeit und eine stärkere Fixierungdes Verbindungspins 7 gegeben ist.
    [0060] 15 zeigt eine andere Ausführungsform dervorliegenden Erfindung, in welcher das Reduzierelement von geteilterArt ist. Das Unterträgerelement 3 istintegral mit dem Hauptträgerelement 1 verbundenund das Reduzierelement 2, einschließlich des Verbindungspins 7,welcher durch das Durchgangsloch 9 des Unterträgerelements 3 eingeführt wird,ist in eine Mehrzahl unterteilter Teile geteilt.
    [0061] Durcheine solche Teilung des Reduzierelements 2 kann ein defektesTeil, beispielsweise mit Versagen der elektrischen Leitung, sofortrepariert und mit dem geteilten Teil ersetzt werden, und zur gleichenZeit wird die Verformung des geteilten Teils des geteilten Reduzierelements 2 klein,wodurch die Zuverlässigkeitin der Messung einer Vielzahl von Halbleiterelementen erhöht wird.
    [0062] Dievorsehende Beschreibung basiert auf Ausführungsformen, welche als beispielhafteAusführungsformender vorliegenden Erfindung angesehen werden, aber die vorliegendeErfindung ist nicht auf diese Konfiguration beschränkt undverschiedene Änderungenund Modifikationen einschließlichder Komponenten wie in der vorliegenden Erfindung offenbart unddas Ziel der vorliegenden Erfindung erreichend, können ingeeigneter Weise gemacht werden, ohne den Schutzbereich der vorliegendenErfindung mit den folgenden beschriebenen Vorteilen zu verlassen.
    [0063] Wieaus vorstehenden Beschreibung deutlich wird, hat eine Prüfkarte gemäß der vorliegenden Erfindungein Hauptträgerelementmit einer ersten Verbindungselektrode, welche eine Messeinrichtung kontaktiert,ein an das Hauptträgerelementgekoppeltes Unterträgerelementmit einer Mehrzahl von mit der ersten Verbindungselektrode elektrischleitend verbundenen Durchgangslöchern,und einem Reduzierelement mit einem durch das Durchgangsloch auf eineHauptflächeentfernbar einführbarenVerbindungspin und mit einer Mehrzahl von mit dem Verbindungspinelektrisch leitend verbundenen Kontakten, welche das Messobjektauf der anderen Hauptfläche kontaktieren.Der leitende Bereich, in welchem der Abstand zwischen Elektrodenvon einem engen Abstand benachbarter Elektroden zu einem relativweiten Abstand benachbarter Elektroden sich ändert, ist definiert durchdas Hauptträgerelementund das Unterträgerelement,und folglich besteht nicht weiter ein Grund der Besorgnis wegenelektrischem Leitungsversagen zwischen dem Hauptträgerelementund dem Unterträgerelementin jeder Untersuchung, und nur die elektrische Leitung durch Kontaktdes Hauptträgerelementsund des Verbindungspins des Reduzierelements muss in Betracht gezogenwerden. Dadurch wird eine hohe Zuverlässigkeit, einfache Erkennbarkeitvon Leitungsversagen und einfache Wartung erreicht.
    [0064] Weiterhinsind das Unterträgerelementund das Reduzierelement entfernbar miteinander verbunden, wodurchder in dem Reduzierelement angeordnete Verbindungspin, welcher beispielsweisedefekt ist, ersetzt werden kann.
    [0065] DasHauptträgerelementumfasst eine erste Hauptflächemit einer ersten Verbindungselektrode und eine zweite Hauptfläche miteiner zweiten Verbindungselektrode, welche leitend verbunden istmit der ersten Verbindungselektrode über einen Draht, und ein elektrischerLeiter fürelektrische Verbindung ist zwischen der zweiten Hauptfläche undeiner ersten Hauptfläche,welche der zweiten Hauptflächedes Hauptträgerelementszugewandt ist, eingerichtet, das Unterträgerelement einschließend dasDurchgangsloch. Der elektrisch leitfähige Bereich, in welchem dieAbständezwischen Elektroden sich von engen Abständen benachbarter Elektrodender ersten Hauptflächedes Unterträgerelementszum weiten Abstand benachbarter Elektroden zu der ersten Hauptfläche desHauptträgerelements ändern, istdefiniert durch das Hauptträgerelementund das Unterträgerelement,und folglich ist elektrisches Leitungsversagen unterdrückt, waseine bessere Kontaktstabilitätund Reduktion in der Anzahl elektrischer Fehlkontaktpunkte erlaubt.
    [0066] DasHauptträgerelementumfasst auf der ersten Hauptflächemit der ersten Verbindungselektrode eine Verstärkungsplatte zum Zwecke derVermeidung einer Verbiegung des Hauptträgerelements, und folglich istdas Problem der Deformierung des Hauptträgerelements in eine gebogeneForm und Verursachung elektrischen Leitungsversagens und Instabilität elektrischerKontakte gelöst.
    [0067] DerVerbindungspin und das Durchgangsloch des Unterträgerelements,durch welches der Verbindungspin eingeführt ist, sind zum elastischen Kontaktin dem Durchgangsloch konfiguriert, und folglich ist die Verbindungkräftigund Leitungsversagen verhindert.
    [0068] DiePrüfkartegemäß der vorliegendenErfindung ist weiterhin konfiguriert mit einem Hauptträgerelelementumfassend eine erste Verbindungselektrode, welche eine Messeinrichtungkontaktiert, einem Unterträgerelement,welches mit dem Hauptträgerelementverbunden ist, umfassend eine Mehrzahl von mit der ersten Verbindungselektrodeelektrisch leitend verbundenen Durchgangslöchern, und einem Reduzierelementumfassend eine Mehrzahl von das Messobjekt elektrisch leitend kontaktierenedenKontakten auf einer Hauptflächeund eine Mehrzahl von Durchgangslöchern zur elektrischen Leitungmit dem Kontakt, und einem Verbindungspin mit einem Ende entfernbarin dem Durchgangsloch des Reduzierelementes angeordnet und dem anderenEnde entfernbar in dem Durchgangsloch des Unterträgerelementesangeordnet.
    [0069] Weiterhinist das Reduzierelement unterteilt in eine Mehrzahl von unterteiltenTeilen, und folglich besteht keine Notwendigkeit, das gesamte Reduzierelementzum Austausch eines Teildefekts des Reduzierelements auszutauschenund Ersatz kann durch Ersatz von Einheiten geteilter Teile erfolgen.Folglich ist ein signifikanter Effekt, wie große Kostenreduktion, erreicht.
    [0070] 1 Eine schematische Ansichtin querschnittsmäßiger Anordnunggemäß einerbevorzugten Ausführungsformder vorliegenden Form der Erfindung;
    [0071] 2 Eine schematische Explosionsdarstellungder querschnittsmäßigen Konfigurationgemäß der Ausführungsformder vorliegenden Erfindung;
    [0072] 3 Eine schematische Teilansichtder querschnittsmäßigen Konfigurationgemäß der Ausführungsformder vorliegenden Erfindung;
    [0073] 4 Eine schematische Teilansicht,welche einen verbundenen Zustand eines Hauptträgerelements und eines Unterträgerelementsgemäß der Ausführungsformder vorliegenden Erfindung zeigt;
    [0074] 5 Eine schematische Teilansicht,welche einen anderen verbundenen Zustand des Hauptträgerelementsund des Unterträgerelementsgemäß der Ausführungsformder vorliegenden Erfindung zeigt;
    [0075] 6 Eine vergrößerte Ansicht,welche einen Verbindungspin gemäß der Ausführungsformder vorliegenden Erfindung zeigt;
    [0076] 7 Eine schematische Teilansicht,welche einen Verbindungszustand eines anderen Verbindungspins gemäß der Ausführungsformder vorliegenden Erfindung zeigt;
    [0077] 8 Eine schematische Teilansicht,welche einen Verbindungszustand des Verbindungspins gemäß der Ausführungsformder vorliegenden Erfindung zeigt;
    [0078] 9 Eine schematische Ansicht,welche eine andere Ausführungsformeines Unterträgerelementsder vorliegenden Erfindung zeigt;
    [0079] 10 Eine schematische Teilansicht,welche einen Verbindungszustand eines anderen Verbindungspins gemäß der Ausführungsformder vorliegenden Erfindung zeigt;
    [0080] 11 Eine schematische Teilansicht,welche einen Verbindungszustand eines anderen Verbindungspins gemäß der Ausführungsformder vorliegenden Erfindung zeigt;
    [0081] 12 Eine schematische Teilansicht,welche einen Verbindungszustand eines anderen Verbindungspins gemäß der Ausführungsformder vorliegenden Erfindung zeigt;
    [0082] 13 Eine teilweise vergrößerte Ansicht, welcheeinen Verbindungszustand des Verbindungspins gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindungzeigt;
    [0083] 14 Eine schematische Teilansicht,welche einen Verbindungszustand des Verbindungspins gemäß der Ausführungsformder vorliegenden Erfindung zeigt;
    [0084] 15 Eine schematische Ansichteiner querschnittsmäßigen Konfigurationgemäß eineranderen Ausführungsformder vorliegenden Erfindung;
    [0085] 16 Eine schematische Teilansicht,welche eine andere Verstärkungsplattegemäß der Ausführungsformder vorliegenden Erfindung zeigt; und
    [0086] 17 Eine schematische Ansicht,welche einen Teil einer querschnittsmäßigen Konfiguration einer Prüfkarte gemäß dem Standder Technik zeigt.
    [0087] Die 9 zeigt eine erste StufenänderungI, eine zweite StufenänderungII und eine dritte StufenänderungIII.
    [0088] Anm.des Übersetzers:folgend die Übersetzungender sachlichen Inhalte der Figuren: 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17
    A Prüfkarte 1,1' Hauptträgerelement 2,2' Reduzierelement 3 Unterträgerelement 4,4, 4' ErsteVerbindungselektrode 5,5, 5' ZweiteVerbindungselektrode 6,6 Kontakte 7,7 Verbindungspin 8 Verstärkungsplatte 8a,8b Unabhängige Elemente 9 Durchgangslöcher 10 Halter 13 ElektrischerLeiter 15,15 DritteVerbindungselektrode 16,16, 16' VierteVerbindungselektrode 17,17 Fünfte Verbindungselektrode 20 Kontaktierungsbereich 21 Trägerbereich 22 Anschlag 23 Endbereich 24 Durchgangsloch 25 Stützelement 26 InnererKontakt 27 Endspitze 31 ErstesUnterträgerelement 32 ZweitesUnterträgerelement 33 SechsteVerbindungselektrode 319 ErstesDurchgangsloch 329 ZweitesDurchgangsloch
    权利要求:
    Claims (7)
    [1] Eine Prüfkartezur Messung elektrischer Eigenschaften eines Messobjektes, wobeidie Prüfkarteenthält:ein Hauptträgerelementumfassend eine erste Verbindungselektrode, welche eine Messeinrichtungkontaktiert; ein Unterträgerelement,welches mit dem Hauptträgerelementverbunden ist, umfassend eine Mehrzahl von mit der ersten Verbindungselektrodeelektrisch leitend verbundenen Mehrzahl von Durchgangslöchern; undein Reduzierelement umfassend einen Verbindungspin, welcher entfernbarin das Durchgangsloch auf einer Hauptfläche eingesteckt ist, und eineMehrzahl von elektrisch leitend mit dem Verbindungspin verbundenenKontakten, welche das Messobjekt auf der anderen Hauptfläche kontaktieren.
    [2] Die Prüfkartegemäß Anspruch1, wobei das Unterträgerelementund das Reduzierelement trennbar miteinander verbunden sind.
    [3] Die Prüfkartegemäß Anspruch1 oder 2, wobei das Hauptträgerelementeine erste Hauptflächemit der ersten Verbindungselektrode und eine zweite Hauptfläche miteiner zweiten Verbindungselektrode, welche mit der ersten Verbindungselektrodeleitend übereinen Draht verbunden ist, umfasst; und wobei ein elektrischer Leiterzum Zwecke der elektrischen Verbindung zwischen der zweiten Hauptfläche und einerersten Hauptflächeeingerichtet ist, welcher in Richtung der zweiten Hauptfläche desUnterträgerelementseinschließlichdes Durchgangslochs weist.
    [4] Die Prüfkartegemäß der Ansprüche 1 bis3, wobei die erste Hauptflächemit der ersten Verbindungselektrode des Hauptträgerelements eine Verstärkungsplattezur Vermeidung von Verformungen des Hauptträgerelements aufweist.
    [5] Die Prüfkartegemäß der Ansprüche 1 bis4, wobei der Verbindungspin und das Durchgangsloch des Unterträgerelements,durch welches der Verbindungspin eingeführt ist, in dem Durchgangslochelastisch kontaktieren.
    [6] Die Prüfkarteumfassend ein Hauptträgerelementumfassend eine erste Verbindungselektrode, welche eine Messeinrichtungkontaktiert, ein Unterträgerelement,welches mit dem Hauptträgerelement verbundenist, umfassend eine Mehrzahl von mit der ersten Verbindungselektrodeelektrisch leitend verbundenen Durchgangslöchern, und ein Reduzierelementumfassend eine Mehrzahl von das Messobjekt elektrisch leitend kontaktierenedenKontakten auf einer Oberflächeund eine Mehrzahl von Durchgangslöchern zur elektrischen Leitungmit dem Kontakt, und einen Verbindungspin mit einem Ende entfernbar indem Durchgangsloch des Reduzierelementes angeordnet und dem anderenEnde entfernbar in dem Durchgangsloch des Unterträgerelementesangeordnet.
    [7] Die Prüfkartegemäß der Ansprüche 1 bis5 oder Anspruch 6, wobei das Reduzierelement eine Mehrzahl von unterteiltenTeilen aufweist.
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    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    2009-04-23| 8139| Disposal/non-payment of the annual fee|
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
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